Pneumatischer Antrieb für ein Vakuumventil mit integrierter Ablaufsteuerung

Dieser Antrieb dient zur Steuerung eines Ventils in der Vakuumtechnik, die vor allem in der Halbleiter- und Datenspeichertechnik zum Einsatz kommt. Der kompakte Drehantrieb ermöglicht Drehwinkel bis 53° und wird durch eine Feder zurückgestellt. Er hat eine integrierte optische Stellungsanzeige und ist mit Steuerventilen für zwei verschiedene Bewegungsabläufe ausgerüstet.