Zylindersystem mit integrierten Führungen für Handlingaufgaben bei der Halbleiterherstellung

Mit diesem Zylindersystem werden Druckmasken zur Herstellung von Halbleitern auf sog. Wafern positioniert. Das in einer Aufspannung bearbeitete einteilige Gehäuse mit integrierten Kugelführungen gewährleistet höchstmögliche Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der auf Umschlag arbeitenden Zylinder. Integrierte Reedkontakte erlauben die Abfrage mehrerer Zylinderpositionen. Feinfühlig einstellbare Endlagendämpfungen gewährleisten erschütterungsfreien Betrieb.